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華夏中證半導體材料設備主題ETF（562590）10月22日盤中跌2.12%，最新單位凈值為1.4790。

該基金最近一周跌3.53%，近一個月漲9.03%。份額方面，該基金份額最近一月凈增加3.14億份。

數據顯示，該基金成立于2023年10月9日，基金經理為余昊、單寬之，截止2025年6月30日，該基金資產規模為3.26億元。

最新披露的定期數據表明，截止2025年6月30日，該基金的重倉股如下表所示：

（數據來源：同花順（300033）iFinD）